溫控探針臺(tái)是一款使用溫度范圍在-190℃-600℃的儀器，在我們使用時(shí)還可對(duì)樣品氣氛進(jìn)行控制，同時(shí)允許探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。這樣既可以保證，即使在極低溫度下，腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實(shí)驗(yàn)，又可以防止樣品發(fā)生氧化。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)氣密腔，可往內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。此款通過杠桿式支架，使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針，這種設(shè)計(jì)不僅點(diǎn)針更準(zhǔn)確，而且點(diǎn)針力度更大，和樣品的電接觸性更好。
作為半導(dǎo)體封測(cè)行業(yè)三大設(shè)備之一，探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測(cè)試，研發(fā)難度大，國產(chǎn)化率低，進(jìn)口依賴度高，它的品質(zhì)和精度直接決定測(cè)試可靠性與否。探針臺(tái)加工廠家潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象。
溫控探針臺(tái)的功能特點(diǎn)：
1、可編程精密控溫?？瑟?dú)立控制，也可從上位機(jī)軟件控制；
2、探針需開蓋移動(dòng)，樣品臺(tái)面電接地；
3、探針分別導(dǎo)通冷熱臺(tái)外殼上的4個(gè)BNC接口；
4、杠桿式探針支架，點(diǎn)針力度更大，電接觸性更好；
5、彎針探針，點(diǎn)針更精準(zhǔn)；
6、默認(rèn)氣密腔室，通問2個(gè)快速自鎖接頭，可充保護(hù)氣體；
7、上蓋帶有樣品觀察窗；
8、臺(tái)體內(nèi)置干燥氣體管道，用于負(fù)溫時(shí)對(duì)視窗的除霜；
9、視窗可拆卸與更換，可用不同材質(zhì)窗片實(shí)現(xiàn)不同波段光觀察；
10、軟件可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語言的SDK；
半導(dǎo)體測(cè)試是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié)，其測(cè)試設(shè)備包括測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)。其中，測(cè)試機(jī)是檢測(cè)芯片功能和性能的專業(yè)設(shè)備，分選機(jī)和探針臺(tái)是將芯片的引腳與測(cè)試機(jī)的功能模塊連接起來的專業(yè)設(shè)備，與測(cè)試機(jī)共同實(shí)現(xiàn)批量自動(dòng)化測(cè)試。受益于國內(nèi)封裝測(cè)試業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)張，半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)快速發(fā)展。
