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8英寸手動探針臺的使用方式

更新時間:2022-09-19      點擊次數(shù):3870
   8英寸手動探針臺是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
  
  使用方式:
  1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
  2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
  3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
  4、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
  5、待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
  6、確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。
  
  8英寸手動探針臺用途:
  以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),研發(fā)人員一般會采用萬用電表的表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件(如IC、wafer、Chip、LCDArray、CMOSCameraModule、Pitch微小的Connector),萬用表點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。