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一、應(yīng)用原理：(1)探針卡(probecard)探針卡是自動(dòng)測(cè)試機(jī)與待測(cè)器件(DUT)之間的接口,在電學(xué)測(cè)試中通過探針傳遞進(jìn)出wafer的電流。(2)探針臺(tái)(prober)因此測(cè)試對(duì)于檢驗(yàn)芯片的功能性來說是一項(xiàng)非常重要的工作,硅片測(cè)試能夠分辨一個(gè)好的芯片和一個(gè)有缺陷的芯片。RDON是VDMOS在導(dǎo)通狀態(tài)下漏源之間的導(dǎo)通電阻。二、發(fā)展背景介紹：(1)半導(dǎo)體檢測(cè)貫穿半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝三大流程。半導(dǎo)體制造工藝十分復(fù)雜，包含成百上千道工序，每一道出錯(cuò)都可能影響芯片功效。為了提...

射頻探針是我們?cè)谄瑴y(cè)試時(shí)不可少的工具，它在射頻產(chǎn)品生命周期中幾乎每一個(gè)階段都起著重要作用：從技術(shù)開發(fā)，模型參數(shù)提取，設(shè)計(jì)驗(yàn)證及調(diào)試一直到小規(guī)模生產(chǎn)測(cè)試和最終的生產(chǎn)測(cè)試。通過使用射頻探針，人們便有可能在晶片層次上測(cè)量射頻組件的真正特性。這可以將研究和開發(fā)時(shí)間縮短并且大大降低開發(fā)新產(chǎn)品的成本。基本要求和工作原理：1、射頻探針的50-Ω平面?zhèn)鬏斁€應(yīng)當(dāng)直接與DUT壓點(diǎn)相接觸而不用接觸導(dǎo)線。對(duì)于微帶線和隨后的共面探針設(shè)計(jì)，探針的接觸是用小的金屬球來實(shí)現(xiàn)的，這個(gè)金屬球要足夠大以保證可靠且...

ESD測(cè)試設(shè)備是專門測(cè)量電靜電放電所產(chǎn)生的能量、電壓和電流的儀器，具有以下特點(diǎn)：1、精確性：能夠測(cè)量靜電放電所產(chǎn)生的能量、電壓和電流，具有高度的準(zhǔn)確性。2、穩(wěn)定性：檢測(cè)結(jié)果穩(wěn)定可靠，能夠長(zhǎng)時(shí)間保持穩(wěn)定性。3、多功能性：可以測(cè)量不同類型和功率等級(jí)的ESD，如人體模擬、直接放電和線間放電等，具有多種測(cè)試功能。4、高質(zhì)量：采用高品質(zhì)的材料和先進(jìn)的制造工藝，具有高度的可靠性和耐用性。5、易于使用：操作簡(jiǎn)單方便，用戶可以通過簡(jiǎn)單的操作完成測(cè)試過程。6、自動(dòng)化程度高：具有高度的自動(dòng)化程度...

一、包含有太赫茲有源負(fù)載牽引系統(tǒng)、Maury微波校準(zhǔn)件、Maury微波適配器、微波射頻測(cè)試附件、波導(dǎo)轉(zhuǎn)接頭、同軸轉(zhuǎn)接頭、高速調(diào)諧器Tuner、自動(dòng)阻抗調(diào)諧器、負(fù)載牽引、Loadpull、阻抗-MT2000混合信號(hào)有源負(fù)載牽等。二、直流電源的基本功能是提供穩(wěn)定純凈的直流電源，設(shè)置電壓源或電流源，功率分析測(cè)量功能，監(jiān)測(cè)輸出電壓和電流，輸出電壓、電流、功率變化的高速分析采集記錄輸出電壓波形編輯，負(fù)載變化快速恢復(fù)功能脈沖電源設(shè)置。三、功率計(jì)是射頻信號(hào)功率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。功率計(jì)不能區(qū)分...

探針臺(tái)探針是電測(cè)試的接觸媒介，為電子五金元器件。探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測(cè)試儀器、半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯、半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查。也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試?？梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測(cè)試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯，這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還...

ESD測(cè)試即靜電放電測(cè)試。ESD測(cè)試在芯片和系統(tǒng)設(shè)計(jì)中是一項(xiàng)很重要的指標(biāo)，通常暴露在外面的接口更要注意靜電防護(hù)。靜電放電(ESD)是一種自然現(xiàn)象，經(jīng)驗(yàn)表明，人在合成纖維的地毯上行走時(shí)，通過鞋子與地毯的摩擦，只要行走幾步，人體上積累的電荷就可以達(dá)到10-6庫侖以上(這取決于鞋子與地毯之間的電阻)，在這樣一個(gè)"系統(tǒng)"里(人/地毯/大地)的平均電容約為幾十至上百pF，可能產(chǎn)生的電壓要達(dá)到15kV。研究不同的人體產(chǎn)生的靜電放電，會(huì)有許多不同的電流脈沖，電流波形的上升時(shí)間在100ps至...

晶圓探針臺(tái)是在半導(dǎo)體開發(fā)和制造過程中用于檢測(cè)晶圓電氣特性的設(shè)備。電氣測(cè)試包括通過探針或探針卡將測(cè)試信號(hào)從測(cè)定器或測(cè)試儀發(fā)送到晶圓上的各個(gè)器件，并得到各器件的信號(hào)反饋。這個(gè)時(shí)候，用于晶圓搬送并與事先設(shè)定的位置進(jìn)行接觸的設(shè)備稱為晶圓探針臺(tái)。它能夠滿足12英寸、8英寸晶圓的測(cè)試需求，通過高精度定位平臺(tái)、高剛性晶圓承載臺(tái)和高分辨率仰視相機(jī)(探針相機(jī))及俯視相機(jī)(晶圓相機(jī))，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)上下晶圓料片、對(duì)針和高精度扎針，與測(cè)試機(jī)配合完成對(duì)晶圓上集成電路的品質(zhì)檢測(cè)。圓測(cè)試是在半導(dǎo)體器件制造過...

探針臺(tái)是一種成熟的工具，用于測(cè)試硅晶片、裸片和開放式微芯片上的電路和設(shè)備。它允許用戶將電子、光學(xué)或射頻探針放置在設(shè)備上，然后測(cè)試該設(shè)備對(duì)外部刺激(電子、光學(xué)或射頻)的響應(yīng)。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以更復(fù)雜，涉及復(fù)雜微電路的全功能測(cè)試。它的應(yīng)用行業(yè)有許多，常見的包括半導(dǎo)體、光電以及集成電路等行業(yè)，半導(dǎo)體企業(yè)不僅有效促進(jìn)了經(jīng)濟(jì)發(fā)展。主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測(cè)試，能夠提供磁場(chǎng)或變溫環(huán)境，并進(jìn)行高精度的直...