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該系統(tǒng)搭載了南京芯測探針臺系統(tǒng)，是一套卓越的微光顯微成像系統(tǒng)，通過使用探測器探測電路發(fā)出的微光子和激光刺激引起回路電信號變化來定位電路的失效點并通過圖像的方式呈現(xiàn)出來。

• 通過NIR紅外線偏光顯微鏡對芯片進行BACK SIDE穿透分析

• 正面及背面光子發(fā)光偵測功能

• 滿足Si CMOS,GaAs pHEMT、等失效芯片的漏電檢測。